液体质量流量计

HORIBA/堀场-液体质量流量计/控制器的产品详情：

日本HORIBA LF系列质量流量计是一款专门测量微小液体的质量流量控制器。该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升并以流量显示，与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。

● LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先指定所使用的液体)。

● 不能检测含有固体物的液体。

● 如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询。

● LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在一次端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。

● LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到最大值，0.1Pa・s。有关高粘度的液体请预先进行咨询。

● 以SEMI E56-1296 为准。

● 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。

● 粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。

HORIBA/堀场-液体质量流量计/控制器的产品规格/型号：

更多产品：

SEC-N100 系列数字式质量流量控制器

流量控制范围10 SCCM~1000 SLM ，流量控制范围可以从满量程流量值的 2% 开始执行。高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度，配备数字校正功能，实现设定点精度全流量范围快速响应：1秒内完成全量程配备多气体/多量程功能，允许用户改变气体类型和满量程流量。

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEC-E400X、SEC-E500

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-405/410、SEC-510、SEC-400MK2/MK3、SEC-500MK2/MK3

HORIBA堀场_流量计&配件_MF-CP10N、MF-CP10N（50-100LM）、MF-CS10N、MF-CS10N（50LM）

HORIBA堀场_流量计&配件_S48-32、S48-28、SEC-N102MGM（MGR）、SEC-N104MGM（MGR）

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-N105MGM（MGR）、SEC-N106MGM（MGR）、SEC-N107MGM（MGR）、SEC-N170R

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-Z502X、SEC-Z502MGX、SEC-Z504MGX、SEC-Z507MGX

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-8400F AMB,MM,MH、HL.HM、SEC-8400D AMB,MM,MH、HL.HM

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-Z707S、SEC-Z702MGX、SEC-Z704MGX、D502

HORIBA堀场_流量计&配件_D504、D507、red-y industrial GIC

HORIBA堀场_流量计&配件_PE-D10、PE-D20、PE-S7、ＣＵ-2130

HORIBA堀场_流量计&配件_ＣＵ-2140、MU-2200 、MU-2200 、MU-3000

HORIBA堀场_流量计&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀场_流量计&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀场_流量计&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀场_流量计&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀场_流量计&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀场_流量计&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀场_流量计&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀场_流量计&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀场_流量计&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

HORIBA堀场_流量计&配件_IR-302M、IR-304M、IR-305M、IR-400 Series

HORIBA堀场_流量计&配件_RU-1000、TE-1100、OPGU-2100、OPGU-2200

HORIBA堀场_流量计&配件_OPGU-7100、OPGU-7200、SGD-SC 0.5L/5L、SGD-710C

HORIBA堀场_流量计&配件_SGPU Series、SF-1U/2U、VP-1U/2U/3U/4U、PS-SF-100C

HORIBA堀场_流量计&配件_EV-140C、IT-470F-H

• SEC-E40质量流量控制器