质量流量控制器

日本HORIBA/SEC-E40质量流量控制器的产品详情：

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改变质量的品质特性条件下实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据重点关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40质量流量控制器的规格参数：

更多产品：

SEC-Z500X多量程/多气体数字流量控制器

高精度 ±1.0% 设定点

该流量控制器的线性度由多项式近似曲线补偿，并实现在流量控制范围内的高精度。为提高实际气体精度，不同工艺气体的标定数据由 HORIBA STEC 公司的标准气体测量系统测量。

高速响应

装配“可变PID系统"，可在任意两个设定点之间实现1秒响应。可变PID根据流量点设置不断变化。在满量程流量和气体发生变化时优化PID系数。

多气体/多量程解决方案

配置软件可以快速方便更改规格。一个重要特征是无需从气体控制面板或管道上拆除流量控制器，即可进行更改。减少所需备用流量控制器的数量，节省时间和成本。

SEC-Z500X 流量控制器适用于各种应用以及半导体制造。

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEC-E400X、SEC-E500

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-405/410、SEC-510、SEC-400MK2/MK3、SEC-500MK2/MK3

HORIBA堀场_流量计&配件_MF-CP10N、MF-CP10N（50-100LM）、MF-CS10N、MF-CS10N（50LM）

HORIBA堀场_流量计&配件_S48-32、S48-28、SEC-N102MGM（MGR）、SEC-N104MGM（MGR）

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-N105MGM（MGR）、SEC-N106MGM（MGR）、SEC-N107MGM（MGR）、SEC-N170R

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-Z502X、SEC-Z502MGX、SEC-Z504MGX、SEC-Z507MGX

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-8400F AMB,MM,MH、HL.HM、SEC-8400D AMB,MM,MH、HL.HM

HORIBA堀场_流量计&配件_SEC-Z707S、SEC-Z702MGX、SEC-Z704MGX、D502

HORIBA堀场_流量计&配件_D504、D507、red-y industrial GIC

HORIBA堀场_流量计&配件_PE-D10、PE-D20、PE-S7、ＣＵ-2130

HORIBA堀场_流量计&配件_ＣＵ-2140、MU-2200 、MU-2200 、MU-3000

HORIBA堀场_流量计&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀场_流量计&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀场_流量计&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀场_流量计&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀场_流量计&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀场_流量计&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀场_流量计&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀场_流量计&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀场_流量计&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

HORIBA堀场_流量计&配件_IR-302M、IR-304M、IR-305M、IR-400 Series

HORIBA堀场_流量计&配件_RU-1000、TE-1100、OPGU-2100、OPGU-2200

HORIBA堀场_流量计&配件_OPGU-7100、OPGU-7200、SGD-SC 0.5L/5L、SGD-710C

HORIBA堀场_流量计&配件_SGPU Series、SF-1U/2U、VP-1U/2U/3U/4U、PS-SF-100C

HORIBA堀场_流量计&配件_EV-140C、IT-470F-H

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