高温磷酸浓度计

HORIBA/堀场CS-620F光纤型高温磷酸浓度计产品详情：

在3D NAND制程中，沉积几十层二氧化硅和氮化硅，并使用高温磷酸选择性地刻蚀氮化硅层。在该制程中，通过控制化学药液的浓度和温度，可以获得期望的刻蚀速率。成熟型号很难测量高温化学药液，但CS-620F能够在高达170℃的高温下进行测量。使用吸收光谱进行连续测量，与其他方法相比，需要的维护和耗材更少。

产品特征

● 可测量达92%的高浓度磷酸。

● 无需冷却机制和冷却时间。

● 无需冷却循环管路中的高温磷酸（140 至 170℃），可直接测量。

● 样品使用PFA接触，以降低污染风险。

● 采用每半年一次的背景校正周期，有助于显著减少机台停机时间。

● 每3秒更新一次测量数据，有助于更快速使用浓度反馈进行控制。

稳定性

▶  测量结果样品（实际药液）测量1小时，展示出良好的稳定性。

▶ 测量条件

测量周期：每3秒   测量时间：1 小时   移动平均数：16 次。

样品浓度（初始样品浓度）H3PO4：92.2% H2O: 7.8%   样品温度：141°C。

HORIBA/堀场CS-620F光纤型高温磷酸浓度计产品参数：

更多推荐：

光纤型化学药液浓度计 CS-600F

CS-600F 提供适合生产的更高级功能，如在各种应用中对高温化学药液进行在线测量的能力，减少停机时间的稳定运行，以及提高空间生产率的紧凑尺寸，以满足优良半导体湿法制程所需的准确化学药液浓度管理。

尺寸更小，布局更灵活

CS-600F 浓度计尺寸紧凑，与成熟型号（CS-100F1 系列）相比，高度降低 36%，体积减少 40%，样品单元光纤电缆所需的空间减少 46%。光源单元和浓度计主机可以远程单独安装，支持根据化学药液单元和清洗设备的位置灵活安装。

高温化学溶液（20 至 80℃）的高稳定性在线测量

新的光学系统和改进的处理算法支持在线测量高温化学药液，这是优良湿法制程的关键一步。这消除了冷却化学样品的需要。HORIBA 的 CS-600F稳定性高，实现了更有效和准确的化学药液管理。

背景校正频率显著降低

与成熟型号（CS-100F1系列）相比，定期校正频率显著降低，这反过来又显著减少了机台停机时间，有助于提高产量。

单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）

单台浓度计可测量多达六种化学药液（药液种类或浓度范围）。可自由指定药液类型和浓度范围，CS-600F 保证满足各种检测要求。

可输出多达六种组分的测量值（串行输出）

成熟型号（CS-100F1 系列）可输出四种组分的测量值（串行输出）。CS-600F新型号能以串行输出方式输出多达六种组分的测量值。CS-600F型号模拟输出四种组分，而CS-100F1型号为两种。

产品参数：

• HF-960MHF/HCl/NH3浓度计
• CS-900非接触式化学药液浓度计