HF/HCl/NH3浓度计

HORIBA/堀场HF-960M低浓度型HF/HCl/NH3浓度计的产品详情：

HF-960M 采用的传感器具有出色的耐腐蚀性，可对低浓度的化学品进行高精度、高速测量，因此是单槽清洗和晶圆清洗的理想选择。HF-960M 也是一款环保产品，使用无铅焊料将芯片嵌入印刷电路板。

产品特点：

● 低浓度HF的准确测量

● 5种可用的测量模式：HF、HCl 和 NH3 浓度、电导率和温度

● 模拟输出范围可以根据浓度测量范围任意设置

● HF-960M提供7个输出点

● 3通道传输输出

● 符合RoHS标准

● 24V直流电源

● 符合CE认证标准

HORIBA/堀场HF-960M低浓度型HF/HCl/NH3浓度计的产品参数：

更多产品推荐：

HF/HCl/HF-960H

准确测量半导体制造和其他工艺中使用的 HF 和 HCl 浓度。专用的 FES-510 系列传感器具有很强的耐化学性，使该浓度计成为管理HF和 HCl的理想选择。

● 测量范围：0 - 10 %

● 自动显示测量范围切换

● 支持四种测量模式：HF 浓度、HCl 浓度、电导率和温度

● 24V直流电源

● 符合RoHS标准

在线传感器和自动测量范围切换 HF-960EM

测量从低浓度到未稀释原液的各种HF浓度范围。HF-960EM通过自动校正测量范围切换功能实现高精度测量。同时还具备清洁所有 PFA 传感器的能力。

● 从低浓度到未稀释原液的宽测量范围。量程：0 - 50%

● 通过自动校正测量范围切换功能实现高精度测量

● 全部使用PFA传感器，适用于半导体制程

● 符合RoHS标准

HE-960H-KOH

KOH 浓度计精度高、测量范围宽，配备耐化学腐蚀传感器 。测量范围：0 - 20%。

HE-960H-TM-S/高精度TMAH

可准确测量 TMAH（四甲基氢氧化铵）的浓度。TMAH是半导体制程中光刻胶显影液的主要成分。配备耐化学腐蚀的碳传感器。

● 高精度。重复性： +/- 0.003% 内

● 宽测量范围

● 浓度：0 - 3%，电导率：0 - 1000 mS/cm

● 自动切换测量范围显示

● 支持三类测量：TMAH 浓度、电导率和温度

● 耐化学腐蚀碳传感器

● 24V直流电源

● 符合RoHS标准

• CS-620F高温磷酸浓度计
• CS-900非接触式化学药液浓度计